Ο νομός Κυκλάδων σχηματίστηκε με το Βασιλικό Διάταγμα της 3ης (15) Απριλίου 1833 (ΦΕΚ 12/1833), «Περί της διαιρέσεως του Βασιλείου και της διοικήσεώς του» και περιελάμβανε «...απάσας τας υπό το όνομα τούτο γνωριζομένας νήσους»

Διαιρέθηκε σε επτά επαρχίες : 
1. Άνδρου με πρωτεύουσα την Άνδρο
2. Τήνου, με πρωτεύουσα την Τήνο
3. Σύρου, με πρωτεύουσα την Ερμούπολη
4. Κύθνου, με πρωτεύουσα την Κύθνο
5. Μήλου, με πρωτεύουσα τη Μήλο
6. Θήρας, με πρωτεύουσα τα «Φηρά επί Θήρας»
7. Νάξου (στο αρχικό Β.Δ. δεν αναφέρεται πρωτεύουσα της επαρχίας Νάξου)

        Πρωτεύουσα ή Μητρόπολη του νομού, ορίστηκε η Ερμούπολη της Σύρου.

        Με το Β.Δ. της 1ης (13) Οκτωβρίου 1834 (ΦΕΚ 4/1835), «Περί του σχηματισμού των δήμων του νομού Κυκλάδων», καθορίσθηκαν τα όρια του νομού, τα οποία «...άρχονται από της νήσου Άνδρου και διήκουσι προς το Ανατολικονότειον άχρι της ερημονήσου Διονυσίας (Στενόζα) και εκείθεν προς μεσημβρίαν δια των νήσων Αμοργού και Αστυπαλαίας άχρι της νήσου Ανάφης καταγράφουσιν ευθείαν γραμμήν άχρι της ερημονήσου Μαχίας (Παξιμάδι), και εκείθεν ακολουθούσι προς το δυρικοβόρειον άχρι της νήσου Ιερακίδος (Φαλκονέρα) και διαβαίνοντα προς Βορράν διά του Μυρτώου Πελάγους και των νήσων Κέω και Ελένης (Μακρονήσι) λήγουσιν εις το βορειότερον ακρωτήριον της νήσου Άνδρου...» και ορίστηκαν οι 41 δήμοι, εκ των οποίων 4 στην Άνδρο.

        Με το Β.Δ. της 20ης Ιουνίου (2 Ιουλίου) 1836 (ΦΕΚ 28), «Περί διοικητικού οργανισμού», το οποίο εισήγαγε το σύστημα των περιφερειακών διοικήσεων και υποδιοικήσεων, σχηματίστηκαν στο νομό Κυκλάδων πέντε διοικήσεις και ορίστηκαν τρεις υποδιοικητές :
1. Διοίκηση Τήνου, με έδρα την Τήνο
2. Διοίκηση Σύρου με έδρα την Ερμούπολη
3. Διοίκηση Νάξου με έδρα τη Νάξο
4. Διοίκηση Μήλου με έδρα τη Μήλο
5. Διοίκηση Θήρας με έδρα τη Θήρα

        Στις επαρχίες Άνδρου, Κύθνου και Κέας, ορίστηκαν υποδιοικήσεις, ενώ τα νησιά Μύκονος και Δήλος αποσπάστηκαν από την επαρχία Τήνου και εντάχθηκαν στη διοίκηση της Σύρου. Με το νόμο της 22ας Ιουνίου (4 Ιουλίου) 1838 (ΦΕΚ 24) «Περί μεταρρυθμίσεως και διοικήσεων» η διοίκηση Μήλου μεταβλήθηκε σε υποδιοίκηση και τέθηκε υπό τη διοίκηση της Σύρου.
        Ο νόμος ΚΕ' της 5ης Δεκεμβρίου 1845 (ΦΕΚ 32), «Περί διοικητικής διαιρέσεως του Κράτους» κατήργησε τη διαίρεση σε διοικήσεις και υποδιοικήσεις του 1836 και επανέφερε το νομαρχιακό και επαρχιακό σύστημα. Ο νομός Κυκλάδων διατήρησε την επαρχιακή διαίρεση του 1833, με μόνη αλλαγή τη μετονομασία της επαρχίας Κύθνου σε Κέας. Με το Β.Δ. της 5ης Δεκεμβρίου 1845 (ΦΕΚ 34), «Περί προσδιορισμού νομαρχών και επάρχων», έδρα του νομάρχη ορίσθηκε εκ νέου η Ερμούπολη.
Με τους νόμους ΒΧΔ' της 6ης Ιουλίου 1899 (ΦΕΚ 136) και ΓΥΛΔ' της 16ης Νοεμβρίου 1909 (ΦΕΚ 282/Α') που αφορούσαν τη διοικητική διαίρεση του Κράτους, ο νομός Κυκλάδων διατήρησε τα όρια, τη σύσταση και την έδρα του.