Η πρώτη απόπειρα διοικητικής διαίρεσης της χώρας έγινε επί Ιωάννη Καποδίστρια, ορίζοντας δεκατρία τμήματα ανά την επικράτεια, τον Απρίλιο του 1828. Με το Ι' Ψήφισμα της 13ης Απριλίου 1828, νομοθετήματα και διοικητικές πράξεις, η Πελοπόννησος χωρίστηκε σε επτά τμήματα (νομούς) και τα νησιά σε έξι. Οι Κυκλάδες διαιρέθηκαν σε τρία τμήματα : Βόρειες, Κεντρικές, Νότιες. Κάθε τμήμα διοικούσε ο «Έκτακτος Επίτροπος».

      Τον Απρίλιο του 1833, επί Αντιβασιλείας, πραγματοποιήθκε η πρώτη ουσιαστική διαίρεση της χώρας σε διοικητικές περιφέρειες, με τη δημιουργία 10 νομών και 47 επαρχιών βάσει του Βασιλικού Διατάγματος της 3ης (15ης) Απριλίου 1833 (ΦΕΚ 12/1833) «Περί της διαιρέσεως του βασιλείου και της διοικήσεώς του».

Η διοίκηση κάθε δήμου ανατέθηκε «...εις ένα δημογέροντα, προτεινόμενον από τους δημότας και επικυρούμενον υπό του βασιλέως, ήτοι αμέσως ή διά του νομάρχου. Σιμά του δημογέροντος θέλει υπάρχει εν δημογεροντικόν συμβούλιον, εκλεγόμενον από τους δημότας...». Ως πρότυπο για την περιφερειακή διαίρεση της χώρας μας χρησιμοποιήθηκε αυτή της Γαλλίας.
    Συγχρόνως προχωρούσε η σύνταξη του «περί δήμων νόμου», από τον Karl von Abel. Οι πρώτοι νομοθέτες του ελληνικού κράτους δεν ήταν Έλληνες ώστε να έχουν συναίσθηση της συνέχειας του έθνους και να γνωρίζουν την ελληνική παράδοση και ψυχολογία. Το σχέδιο του δημοτικού νόμου -όπως και τόσα άλλα- συντάχθηκε αρχικά στη γερμανική γλώσσα, στη συνέχεια μεταφράστηκε στην ελληνική και υποβλήθηκε σε πενταμελή γνωμοδοτική επιτροπή της Γραμματείας Εσωτερικών, που είχε συσταθεί για το σκοπό αυτό. Τον Οκτώβριο του 1833, η επιτροπή κατέθεσε νομοσχέδιο «Περί σχηματισμού και διαιρέσεως των δήμων», το οποίο θεωρούσε «... σύμφωνον με τα ήθη και την κατάστασιν του τόπου και έργον άξιον της πατρικής και φιλοδικαίας κυβερνήσεως...».
    Ο «περί συστάσεως των δήμων νόμος», είναι ο πρώτος νόμος του Ελληνικού κράτους για την τοπική αυτοδιοίκηση πρώτου βαθμού. Με τον εν λόγω νόμο, η χώρα διαιρέθηκε σε δήμους τριών κατηγοριών ανάλογα με τον πληθυσμό. Πρώτης τάξης με πληθυσμό πάνω από 10.000 κατοίκους, δεύτερης τάξης από 2.000 – 10.000 κατοίκους και τρίτης τάξης οι μικρότεροι.
    Τη δημοτική αρχή αποτελούσε ο δήμαρχος, οι πάρεδροι και το δημοτικό συμβούλιο. Ο δήμαρχος αποτελούσε την πρώτη εκτελεστική αρχή και ήταν υπεύθυνος για την άσκηση της τοπικής αστυνομίας. Βοηθοί του δημάρχου, ήταν οι πάρεδροι, 1-6 ανάλογα με την τάξη του δήμου. Το δημοτικό συμβούλιο, αποτελούμενο από 6-18 δημοτικούς συμβούλους ανάλογα με την τάξη του δήμου, θεωρείτο «συμβουλευτική και συνεπιτηρούσα αρχή».
    Η θητεία του δημάρχου και των παρέδρων ήταν τριετής, ενώ το δημοτικό συμβούλιο εκλεγόταν για εννέα χρόνια, με άμεση εκλογή. Κάθε τρία χρόνια γινόταν μερική ανανέωση του δημοτικού συμβουλίου, με την υποχρεωτική αποχώρηση του ενός τρίτου των μελών και την αντικατάστασή τους μέσω νέων εκλογών. Πρόεδρος του δημοτικού συμβουλίου δεν ήταν ο δήμαρχος, αλλά ένας από τους δημοτικούς συμβούλους. Ο βασιλιάς είχε το δικαίωμα να διαλύει το δημοτικό συμβούλιο και να προκηρύσσει νέες εκλογές μέσα σε τέσσερις εβδομάδες.
    Δικαίωμα ψήφου είχαν μόνον όσοι φορολογούντο περισσότερο με άμεσους δημοτικούς φόρους. Ο δήμαρχος και οι πάρεδροι δεν εκλεγόταν από τους δημότες αλλά από ειδικό όργανο –το δημαιρεσιακό συμβούλιο- που αποτελείτο από τους δημοτικούς συμβούλους και ισάριθμους δημότες. Αυτό εξέλεγε τρεις υποψηφίους, από τους οποίους ο βασιλιάς επέλεγε το δήμαρχο για τους δήμους α' και β' τάξης και ο νομάρχης για τους γ' τάξης.
   Η διαδικασία σχηματισμού των δήμων ήταν πολύπλοκη και χρονοβόρα, καθώς απαιτείτο γεωγραφική και πληθυσμιακή καταγραφή. Επιπλέον, βασικό πρόβλημα ήταν οι επικρατούσες κομματικές συνθήκες και οι προσωπικές φιλοδοξίες όσων συμμετείχαν στην οργάνωση των δήμων.
   

    Το νομαρχιακό σύστημα του 1833, αντικαταστάθηκε το 1836 διατηρώντας τη διοικητική διαίρεση σε νομούς και επαρχίες αλλά καταργώντας τις θέσεις των νομαρχών, των νομοδιευθυντών και των επάρχων καθώς και τις υπηρεσίες τους (νομαρχία και επαρχείο). Η επικράτεια διαιρέθηκε σε τριάντα διοικήσεις και δεκαεννέα υποδιοικήσεις. Το σύστημα διοικητικής διαίρεσης της χώρας με τις διοικήσεις και υποδιοικήσεις θεωρήθηκε άκρως συγκεντρωτικό, αντιμετώπισε μεγάλες δυσκολίες και τελικά τροποποιήθηκε το 1838 με τον περιορισμό των διοικήσεων σε είκοσι τέσσερις και των υποδιοικήσεων σε επτά. Οι υποδιοικήσεις καταργήθηκαν στο σύνολό τους το 1843.

    Το 1845, η κυβέρνηση του Ιωάννη Κωλέττη, επανέφερε το νομαρχιακό σύστημα του 1833, ορίζοντας δέκα νομούς και 49 επαρχίες. Το διοικητικό σύστημα παρέμεινε ανέπαφο ως το 1887 και εφαρμόστηκε στα Επτάνησα και στις περιοχές της Θεσσαλίας και της Ηπείρου μετά την προσάρτησή τους. Οι νομοί διοικούνται από το νομάρχη, ενώ καταργήθηκε η επαρχιακή διαίρεση της επικράτειας και οι υπηρεσίες των επαρχιών. Η υπόθεση των επαρχιών και των επαρχιακών συμβουλίων αποτέλεσε αντικείμενο πολιτικής διαμάχης και το 1891 ο Δηλιγιάννης επανέφερε το θεσμό των επαρχιών, κίνηση που υπαγορεύτηκε από πολιτικές σκοπιμότητες. Η άνοδος του Χ. Τρικούπη στην πρωθυπουργία το 1892, έφερε την εκ νέου κατάργηση των επαρχείων και την ανάθεση της διοίκησης των επαρχιών στο νομάρχη.

 
    Μία ακόμη προσπάθεια διοικητικής μεταρρύθμισης έγινε το 1899, (νόμος ΒΧΔ΄της 6ης Ιουλίου, ΦΕΚ 136), με την αύξηση των νομών κατά δέκα μέσω κατάτμησης των ήδη υπαρχόντων, φθάνοντας τους είκοσι έξι. Ο νομός διοικείται από το νομάρχη, το νομαρχιακό συμβούλιο και τις επιτροπές του νομού. Η ανάδειξη των νομαρχιακών συμβούλων γινόταν με άμεση εκλογή από το εκλογικό σώμα. Οι εκλόγιμοι έπρεπε να έχουν συγκεκριμένα προσόντα, όπως ακίνητη περιουσία ή έσοδα, μόρφωση ανώτερης σχολής ή εργασία σε δημόσια υπηρεσία ή επιστημονικό επάγγελμα. Το νέο σχήμα διατηρήθηκε για μια δεκαετία.

                                                                                            Οι διοικητικές μεταρρυθμίσεις του 20^ου αιώνα.

    Το 1909 οι νομοί περιορίζονται ξανά σε δεκαέξι (νόμος ΓΥΛΔ' της 16ης Νοεμβρίου, ΦΕΚ A 282/1909), έως το 1912 οπότε ψηφίστηκε η νέα διοικητική διαίρεση της χώρας από την κυβέρνηση του Ελευθέριου Βενιζέλου.
    Ο νόμος ΔΝΖ/1912 «Περί Δήμων και Κοινοτήτων», αποτελεί τη δεύτερη ουσιαστική αυτοδιοικητική μεταρρύθμιση. Οι δήμοι κατακερματίστηκαν και δημιουργήθηκαν χιλιάδες κοινότητες ανά την επικράτεια, παρότι σημαντικός αριθμός κοινοτήτων που είχαν δημιουργηθεί από την περίοδο της τουρκοκρατίας, συνέχισαν να υπάρχουν. Ως δήμοι ορίστηκαν οι πρωτεύουσες των νομών και οι πόλεις με πληθυσμό μεγαλύτερο των 10.000 κατοίκων. Ως κοινότητες ορίστηκαν όλοι οι συνοικισμοί με πληθυσμό πάνω από 300 κατοίκους και σχολείο στοιχειώδους εκπαίδευσης ή με λιγότερους από 300 κατοίκους, υπό συγκεκριμένες προϋποθέσεις.

    Μετά το 1981 οι κυβερνήσεις του ΠΑΣΟΚ, προχώρησαν σε σειρά αλλαγών στο χώρο της τοπικής αυτοδιοίκησης. Με το νόμο 1235/1982 επανήλθε και αναβαθμίστηκε ο ξεχασμένος θεσμός των νομαρχιακών συμβουλίων που είχε αρχικά καθιερωθεί επί Χαρίλαου Τρικούπη. Με το νόμο 2218/1994 εισάγεται ο θεσμός του δεύτερου βαθμού τοπικής αυτοδιοίκησης. Το σύνολο των αρμοδιοτήτων της παλιάς νομαρχίας μεταβιβαζόταν στην αιρετή πλέον, Νομαρχιακή Αυτοδιοίκηση και στα όργανά της: το Νομάρχη, το Νομαρχιακό Συμβούλιο και τις Νομαρχιακές Επιτροπές.
    Το σχέδιο «Καποδίστριας» (Ν. 2539/1997), επανακαθόρισε τους πρωτοβάθμιους οργανισμούς τοπικής αυτοδιοίκησης με πληθυσμιακά και χωροταξικά κριτήρια. Η επικράτεια χωρίστηκε πλέον σε 13 περιφέρειες, 51 νομούς, 1.034 δήμους και κοινότητες (910 δήμους και 124 κοινότητες) ενώ καταργήθηκαν οι επαρχίες.
    Τελευταία διοικητική μεταρρύθμιση, ο νόμος 3852 της 7ης Ιουνίου2010, ΦΕΚ 87Α'. «Η Νέα Αρχιτεκτονική της Αυτοδιοίκησης και της Αποκεντρωμένης Διοίκησης – Πρόγραμμα Καλλικράτης» διαίρεσε τη χώρα σε επτά αποκεντρωμένες διοικήσεις, δεκατρείς περιφέρειες και 325 δήμους. Η περιφέρεια, που αντιστοιχεί σε ευρεία γεωγραφική περιοχή, διαιρείται σε περιφερειακές ενότητες.